研發人員正在調試離子注入機設備

    主流積體電路生產線有了國產晶片製造核心裝備

    三年如白駒過隙，1100多個日日夜夜裏，一支平均年齡不到35歲的中國科研團隊，走完了發達國家15年才走完的路，使得國內主流的積體電路生產線上首次出現了國產核心製造裝備。9月28日，晶片製造六大裝備中的刻蝕機和離子注入機的採購合同在北京簽訂，這標誌著國產100納米製造裝備初步實現了產業化。這項重大的技術突破背後，既有科研人員的嘔心瀝血、苦辣酸甜，也有科研體制前所未有的改革創新。

     1、三年建起研發基地

    2003年12月，100納米離子注入機研發課題組從長沙調入北京，開始專案攻關。“我們剛來的時候，通州這片基地還是一片農田。6個月後，我們建起了1.4萬平方米的廠房。”100納米離子注入機專案負責人唐景庭說。三年後，原來的不毛之地建起了107畝的生產研發製造基地。

    100納米離子注入機專案是國家“863”重大專項，跨越技術水準近五代，國內沒有可參考的任何資料和機型，設備的複雜程度和技術難度前所未有。科研人員們夜以繼日地工作，沒有休息日，每周工作78.5小時，形成了215萬字的研究報告。近三年的艱苦攻關終於突破了一系列關鍵技術，打破了國外尖端技術的封鎖。

    設備在線測試期間，由於調試時間緊，調試組的技術人員每天分三班進行不停機調試，反復進行各種測試。渴了，喝一杯涼水；累了，倒在換衣間和衣而睡。最後，現場調試記錄堆起來有兩三尺高，為設備提供了詳細的資料。

    2、科研人員舍家幹科研

    “我們可以說是背井離鄉，很多人是砸了鐵飯碗來北京搞科研。”唐景庭說。42人的科研團隊剛從長沙來京時，條件極其艱苦，唐景庭率領科研隊員住在翠微路的招待所裏，6個人擠一個房間，在租用的寫字樓中進行科研。但更難的是為了科研拋家離子，這群年輕人告別了依依不捨的妻子和戀人，有些人還告別了幼子和年邁的雙親。

    離子源專家戴習毛得知父親病重後，因為忙於長壽命離子源的研製，沒能抽空回家看望父親。他原本想離子源研製成功後，讓父親分享成功的喜悅。可正當離子源技術攻關處於最緊張的時刻，父親卻在老家病故了。噩耗傳來，平日個性剛硬的漢子泣不成聲。

    市場開拓員工文超來京前在長沙找了個女朋友，兩人情投意合。女朋友研究生畢業後，希望他能放棄專案攻關回長沙成家、發展。因為對工作的眷念，他幾經掂量後放棄了。轉眼兩年過去了，他現在還是孤身一人。

    “不能再說下去了，不然說著說著又要流眼淚了。”面對記者，唐景庭直擺手。

    2006年春節，團隊研製的100納米離子注入機進入了商用器件流片驗證階段，團隊決定留下部分技術人員駐守，聽到這個決定時，隊伍裏沒有一個人提出要回家。由於駐守人員對設備的精心維護與熟練操作，2006年2月18日，所有片子的注入工藝全部順利完成。

    3、科研體制首次創新

    “以前的科研體制是：專家出題、做題、判題。如今我們是產業界出題、企業界組織專家做題，市場來判題，和以往完全不一樣。”市工業促進局電子資訊產業發展處處長梁勝說。

    在此次專案中，政府監督專案執行進程成為最大的亮點之一。科技部與北京市政府合作進行重大專案實施，市工業促進局、市科委等部門集中政府資源為專案攻關提供支援，企業按照市場化原則組織社會科技資源，形成了“官產學研用”的合作機制。

    政府不僅制定了攻關目標，而且積極跟蹤，針對開發過程中的關鍵環節進行協調服務。剛一立項，市工促局官員就帶領研發團隊的專家赴上海，與中芯國際主要負責人討論研發必須針對大生產線的應用等實際問題，並推動建立了中芯國際大生產線上的工程師與團隊保持一周討論一次的合作機制。此後，在機器上線測試、採購等一系列關鍵環節上，市工促局都進行了積極協調。三年中，市工促局曾5次帶隊赴上海討論研發及上線問題。該專案的實施還首次引入了第三方進行專案監製監理，聘請中國新時代工程諮詢公司作為專案第三方，與攻關組同步工作，滲透至專案運行的各個環節，進行現場見證與監督。

    4、贏得國際平等對話

    100納米離子注入機是晶片製造裝備的核心設備，然而，我國在離子注入機核心技術上始終技不如人，這種局面一直使得國內從事離子注入機技術的科研人員抬不起頭來。中科院微電子研究所副所長葉甜春告訴記者，國外曾有人說過，“把圖紙給你們，看你們怎么做”，他們不相信中國有這樣的技術攻堅能力。“我一直記得一件很恥辱的事，一次我們在美國一家著名的同業公司參觀，別人不讓我們進入整裝生產線參觀，說‘你們看了，差距就要縮短十年。’”唐景庭告訴記者。由於國內沒有高精尖的積體電路製造裝備，只能從國外高價購買，“後來我們去判別那些買來的裝備，根本不值！很多都是國外淘汰的，有的買回來就是廢鐵。就這么賺走了我們的血汗錢啊！”

    現在，這一尖端課題得到攻克，在國際談判時就有了平等的對話基礎，“這種時候，才是我們最興奮、心裏最舒暢的時候！”唐景庭說。