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自动定位系统
作者：CyberOpt… 文章来源：CyberOptics Semiconductor 点击数：   更新时间：2007-7-5
WaferSense ATS采用机器视觉系统获得半导体设备的内部信息，可避免对晶圆的误操作。用户采用该设备可以使机器人手精确地传送晶圆，降低了设备的故障时间和晶圆残片的发生。在设备内，ATS首先标定目标晶圆传送的位置之后将数字化的坐标信息传递给用户。ATS目前可以用于200和300 mm晶圆处理设备，其精度为±0.1 mm（x和y方向）和±0.5 mm（z方向）。
CyberOptics Semiconductor
 www.cyberopticssemi.com

自动定位系统
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