半导体设备领域某全自动机型的视觉定位应用案例
2006-1-24 下午 11:04:00
任务目的:
实现某全自动机型的视觉定位功能,在工作台精度保证的前提下,利用高精度的图象处理算法对现场工件图像进行处理运算,控制工作台运动,实现自动对准功能。
任务描述:
本任务采用黑白单色CCD对工件图像进行检测,重复精度在2UM以下。由于工作现场环境噪音大,因此采用基于边缘几何特征的视觉定位算法,有效消除现场环境噪音造成的影响,输出结果非常稳定。
关键步骤:
(1)滤波器设计,消除现场环境噪音。
(2)图像分割算法(基于度量空间的图像分割算法)。
(3)边缘几何特征提取。
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