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NanoCD软件套装包括四个关键的光学CD测量方案：NanoGen、NanoMatch、NanoStation和NanoDiffract。该公司用于OCD测量的主要是Atlas和9010系统，该软件套装主要完成对上述系统的功能优化和连接。它从所有的工艺流程获得数据并允许用户将信息输入到用于精确结构测量的模型中。 anometrics Inc., Milpitas, Calif.,
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| OCD测量方案软件 | |
| 作者：nanometr… 文章来源：sichinamag.com 点击数： 更新时间：2008-5-2 |  |
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